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      1. 高真空分子泵工作原理
        http://www.zjseat.com/ask/8726818.html
        • 高真空分子泵的工作原理主要基于氣體分子的動量傳遞,其詳細過程如下: 分子泵的部件是高速旋轉(zhuǎn)的葉片(轉(zhuǎn)子),這些葉片與定子之間形成微小的間隙。當轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速達到每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的級別時,會產(chǎn)生強大的離心力場和牽引力場。此時進入氣隙的氣體分子會與快速運動的葉輪發(fā)生碰撞并獲得動量,沿著葉的螺旋槽道被加速并導(dǎo)向排氣口方向運動;同時受離心力的作用向四周擴散而被壓縮并從出口排出。這一過程中會發(fā)生多次碰撞、吸附及解吸作用使得大量動能轉(zhuǎn)化為內(nèi)能或勢能而終消耗掉從而使氣體的壓力降低達到抽氣的目的。由于多級結(jié)構(gòu)的設(shè)計每一級都進一步降低了系統(tǒng)的壓強直至實現(xiàn)所需的超高真空度通常可達到10^-9Torr甚至更低水平范圍。

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