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      1. 維修Edwards二手分子泵要注意哪些細(xì)節(jié)? 幫忙解答一下
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        • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

        • 打開Edwards二手分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

        • 當(dāng)Edwards二手分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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